AZBIL日本山武PBC-201VNO,PBC-201VN0

azbil PBZ-CL007V邊緣檢測傳感器,azbil PBZ-CL007V邊緣檢測傳感器,azbil PBZ-CL007V邊緣檢測傳感器
概要PBZ激光傳感器采用平行激光束和一個CMOS線性圖像傳感器專長檢測薄膜、晶圓或玻璃基板的邊緣位置。

• FDN算法
  高精度的邊緣檢測*1
   
• 針對檢測面污垢會影響檢測精度的課題，配置了線性圖像傳感器和光量衰減報警功能。
   
• 透明物體檢測用算法
  可穩定檢測透明物體。
   
• 標準雙通道輸入控制器
  可進行雙檢測值運算，減少布線工作量，節省空間。
   
• RS-485通信(僅對應PBC-201VN2/PBC-203VN2) 可將數據傳輸至PLC及觸摸界面。
   
• 安 全性能
  JIS 1級光束。不需要任何特別保護措施。
   
• 多功能
  可忽略薄膜不規則部分的干擾消除功能*2
  玻璃基板對準時傾斜度θ計算功能*3
  通過位置變化檢測功能可檢測出玻璃基板上的缺口和裂痕*3
   

*1. 重復精度：PBZ-CL007V：±1 μmax.，PBZ-CL030H/V：±5 μmax.
*2. 僅 限于 PBC-201VN0/2
*3. 僅 限于 PBC-203VN2

測定內容

控制器型號	邊緣位置測定 (透明體或不透明體)	遮光寬度測定	間隙測定
7 mm傳感器頭用PBC-201VN0	○	―	―
7 mm傳感器頭用PBC-201VN2	○	○	○
30 mm傳感器頭用PPBC-203VN2	○	―	―

重復精度 ±1 μm* — 準確檢測出真實的邊緣位置

FDN算法是一種對于任意的工作距離(WD)都能準確地計算出真實的邊緣位置的算法。

*PBZ-CL007V的重復精度為±1 μm，PBZ-CL030H/V的重復精度為±5 μ。檢測條件請參照規格。

• 菲涅爾衍射
  光射在刀片或薄膜等薄型物體邊緣處會發生衍射。受光部衍射光的強度分布取決于受光器與薄型物體之間的距離(WD)。

不受檢測面污垢引起的受光光量衰減的影響

受光單元采用線性圖像傳感方式，不受檢測面污垢的影響，實現高精度的檢測。并且，
配置了“光強度衰減報警功能”，到了維修時期便會發出警報。

• 傳統方式(PD)
  因遮光引起受光量的減少，使PD的線性輸出發生變化。這種傳統的PD方式，由于受光面污垢（或檢測物透明度）造成受光光量衰減，使輸出值發生變化。所以，為了防止污垢，需要進行空氣吹掃。
   
• 本公司的線性圖像傳感方式
  根據各像素的亮度信息，測出遮光寬度。即使受光光量衰減，只要線性圖像傳感器的入光量不變，邊緣位置的輸出值就不會變化。

干擾消除功能

不檢測標簽等凸起物，只檢測薄膜的邊緣。
將當前的測定值與設定時間（輸出延遲時間）前的數值進行比較，如果變化量超過了設定值（跳讀設定值），則保持變化前的數值并將其模擬輸出。

θ演算功能

根據玻璃邊緣的位置變化，演算傾斜度θ后輸出。測量范圍：±3°。

缺口檢測功能（位置變化輸出）

設定位置變化時間(T)和位置變化量(L)，如果變化量超過設定的傾斜度，進行數字(DO)輸出。

應用

• 檢測晶圓的偏芯和缺口位置
  能夠穩定檢測透明度高的玻璃晶圓或砷化鎵晶圓。并且，由于采用了線性圖像傳感方式，因此還能越過視孔進行檢測。

• 檢測薄膜蜷曲
  通過使用2對傳感器探頭計算傳感器探頭間的輸出值，可同時檢測薄膜蜷曲和薄膜寬度。

• 檢測薄膜和薄片厚度

• 檢測玻璃基板凹凸和裂痕
  利用位置變化檢測功能，可檢測到傳送帶上的玻璃基板邊緣的缺口和裂痕。

• 測定玻璃基板的XYθ
  利用3對傳感器，除了能計算玻璃基板的X和Y值外，還能通過內部演算計算出θ值。

規格

上述規格是檢測物體和邊緣方向被設定為“不透明體TOP”或“不透明體BOTTOM”時的數據。其他設定時，請與本公司聯系。

*1. 投受光器間距離=20 mm，工作距離=10 mm，檢測物位置=從測定寬度中心位置移動±0.5 mm時。
*2. 投受光器間距離=20 mm，工作距離=10 mm，檢測物位置=從測定寬度中心位置移動±3.5 mm的條件下，重復20次的平均值。
*3. 投受光器間距離=100 mm，工作距離=50 mm，檢測物位置=從測定寬度中心位置移動±0.5 mm時。
*4. 投受光器間距離=20 mm，工作距離=10 mm，檢測物位置=從測定寬度中心位置移動±15 mm的條件下，重復20次的平均值。
工作距離(WD): 受光器與檢測物之間的距離